Загальні компоненти системи керування та функції титанових випарників

1. Контроль температури: контроль температури в обладнанні є ключовим. Система контролю контролює та регулює потужність нагрівальних елементів, таких як резистивні нагрівальні дроти, щоб підтримувати відповідну температуру в камері випаровування. Датчик температури вимірюватиме температуру в камері випаровування в реальному часі та передаватиме дані назад до системи керування для автоматичного регулювання відповідно до встановленого діапазону температур.
2. Контроль тиску: атмосферний тиск в обладнанні має великий вплив на процес випаровування. Система контролю контролює та регулює атмосферний тиск у випарній камері, щоб переконатися, що він знаходиться у відповідних межах. Завдяки таким пристроям, як датчики тиску та регулювальні клапани, атмосферний тиск можна контролювати та регулювати в реальному часі для підтримки стабільного середовища випаровування.
3. Контроль атмосферних газів:
Атмосферний газ у титановому випарнику має великий вплив на випаровування титану. Наприклад, введення азоту або аргону може підтримувати інертну атмосферу та уникнути реакції між титаном і киснем. Система контролю контролює та регулює потік і чистоту атмосферного газу, щоб забезпечити його подачу до випарної камери за відповідних умов.
4. Контроль подачі: система контролю буде відстежувати та контролювати швидкість подачі та кількість титанового матеріалу, щоб забезпечити відповідну швидкість випаровування та рівномірний розподіл випаровування. Оснащений пристроєм подачі та датчиками, подачу титанових матеріалів можна контролювати в режимі реального часу для досягнення контролю над подачею.
5. Запис даних і тривога: системи керування зазвичай оснащені функціями запису даних і тривоги, які можуть записувати тенденції зміни та історичні дані ключових параметрів, а також видавати тривоги, коли це необхідно, щоб нагадати операторам або вжити відповідних заходів.